- Kurze Anlaufzeit
- Kompakte, leichte Bauweise
- Geräusch- und vibrationsarm
- Minimale Wartung
- Mit spezieller Beschichtung für korrosionsgefährdete Anwendungen erhältlich
HiPace
Turbomolekular-Vakuumpumpen
HiPace Turbomolekular-Vakuumpumpen sind kompakte und leistungsstarke Lösungen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.
Die Hybrid- oder Magnetlagerungen, die in HiPace Turbomolekular-Vakuumpumpen zum Einsatz kommen, sorgen fürniedrige Geräusch- und Vibrationsniveaus. Darüber hinaus sind spezielle HiPace Ausführungen für die Verdichtung leichter Gase wie Wasserstoff erhältlich. Zudem gibt es auch Versionen mit einer korrosionsbeständigen Beschichtung. Mit ihrer großen Auswahl an Spezialausführungen ist die HiPace Vakuumpumpe die ideale Lösung für Anwendungen in Beschichtung, Halbleiterproduktion und analytischen Prozessen.
HiPace
Robuste und langlebige Turbopumpen für Hochvakuumanwendungen
Vorteile der HiPace Baureihe
Das innovative Rotordesign der HiPace Turbopumpen ermöglicht hohes Saugvermögen und Gasdurchsatz. Diese Vakuumpumpen sind mit Hybrid- oder Magnetlagerung erhältlich.
Hybridgelagerte Modelle kombinieren ein Keramikkugellager auf der Vorvakuumseite mit einem Permanentmagnetlager auf der Hochvakuumseite und gewährleisten so ein robustes, zuverlässiges Setup. Bei magnetgelagerten Ausführungen hält die aktive Magnetlagerung den Rotor mit Hilfe von Elektromagneten und Abstandssensoren in der Schwebe und versetzt ihn ohne physischen Kontakt in Rotation, wodurch der Verschleiß minimiert wird.
Beide Lagerausführungen sind auf Langlebigkeit sowie geringen Wartungsaufwand ausgelegt und gewährleisten so eine zuverlässige Leistung der Vakuumpumpe. Bei Hybridausführungen können Keramikkugellager und Betriebsmittelbehälter in weniger als 30 Minuten vor Ort ausgetauscht werden, was Stillstandszeiten reduziert und die Produktivität maximiert.
Die HiPace Baureihe umfasst eine große Auswahl an Modellen für verschiedene Anwendungsanforderungen, darunter die kleinste Turbopumpe auf dem Markt: die HiPace 10 Neo. Sie verfügt über eine mechanische Lagerung mit ölgeschmierten Keramikkugellagern, die auch bei schnellen Bewegungen und Vibrationen für einen zuverlässigen Betrieb sorgt. Dank ihres geringen Platzbedarfs eignet sie sich ideal für hochintegrierte Analyseinstrumente, wie sie beispielsweise in der Massenspektrometrie, der Elektronenmikroskopie oder in tragbaren Systemen eingesetzt werden.
Dank den verfügbaren Sonderausführungen lässt sich die HiPace an eine Vielzahl von Prozessanforderungen anpassen. Diese sind beispielsweise mit einer innovativen Zusammenschaltung von Holweck-Stufen ausgestattet, die eine hervorragende Verdichtung sehr leichter Gase wie Wasserstoff ermöglicht. Dies ist in Prozessen, die Ultrahochvakuum erfordern, ebenso wie in wissenschaftlichen Anwendungen unerlässlich. Andere Modelle verfügen über Kepla-beschichtete Rotoren – eine plasmachemische Oberflächenbehandlung, die eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit für anspruchsvolle Umgebungen in der Beschichtung und Halbleiterproduktion bietet.
